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LPCVD立式爐


所屬分類:

CVD設(shè)備

半導(dǎo)體工藝設(shè)備

立式LPCVD


概要:

半導(dǎo)體集成電路制造的重要設(shè)備之一,主要用于POLY, D-POLY, SiN,LP-TEOS;立式LPCVD采用鐘罩式結(jié)構(gòu),設(shè)計(jì)嵌套腔體機(jī)械手傳片組件、舟旋轉(zhuǎn)組件,具有占地面積小、成膜均勻性高、工藝穩(wěn)定性高等優(yōu)點(diǎn)。


關(guān)鍵詞:

LPCVD立式爐管設(shè)備



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