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LPCVD臥式爐


所屬分類:

CVD設(shè)備

半導(dǎo)體工藝設(shè)備

臥式LPCVD


概要:

LPCVD設(shè)備是半導(dǎo)體集成電路制造的重要設(shè)備之一,主要用于POLY, D-POLY, SiN,LP-TEOS。


關(guān)鍵詞:

LPCVD臥式爐管設(shè)備



LPCVD臥式爐


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